公开/公告号CN111189389B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-07-23
原文格式PDF
申请/专利权人 逸美德科技股份有限公司;
申请/专利号CN202010017038.5
申请日2020-01-08
分类号G01B11/00(20060101);
代理机构32366 苏州隆恒知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人金京
地址 215000 江苏省苏州市工业园区双溇里路15号
入库时间 2022-08-23 12:10:43
机译: 一种热力设备金属元素损坏程度的无损检测方法
机译: 热通量检测方法,包括相同部分的损坏部分检测方法以及使用该检测方法的损坏部分检测器
机译: 刻蚀程度的检测方法,刻蚀方法,制造半导体的方法,刻蚀程度的检测装置和干刻蚀装置