一种微透射元件多面形大动态范围同步测量方法

摘要

本发明提供一种微透射元件多表面面形同步检测方法，涉及测量技术领域。利用逆向哈特曼光路检测装置，使用计算机建立的模型化检测系统，测得待测微透射元件波像差，基于光线追迹法对微透射元件模型各表面面形误差进行迭代优化求解，获得相应的重构待测微透射元件波像差，通过优化重构待测微透射元件波像差使之与实测待测微透射元件波像差的偏差最小，最终重构出待测透射元件的实际各表面面形。本发明解决了现有技术中对微小透射元件多表面的测量实现难度较大、空间分辨率较低、检测精度较低、动态范围较小以及无法同步测量多表面的技术问题。本发明有益效果为：为微透射元件多表面面形同步检测提供了一种高精度大动态范围的检测方法。