一种波长可调谐的深紫外双光束激光系统及其方法

摘要

本发明公开了一种波长可调谐的深紫外双光束激光系统，涉及激光系统技术领域。激光器射出激光形成第一光路，第一光路上依次设置有二倍频晶体、三倍频晶体、波长分离镜、谐振腔，波长分离镜分离出一路激光形成第二光路，谐振腔返回一路激光形成第三光路；合束片设置于第二光路与第三光路的相交处，形成第四光路，五倍频晶体设置于第四光路上；所述谐振腔内设置有BBO晶体及控制所述BBO晶体相位角转动的调谐装置；本发明还公开了一种波长可调谐的深紫外双光束激光系统的方法。本发明实现同时输出两束满足二噁英在线监测要求的深紫外激光且其中一束在一定波长范围内可调谐。