一种钯合金氢气传感器

摘要

本发明公开了一种钯合金氢气传感器，涉及传感器技术领域，包括基板、半导体制冷制热片、硅衬底、测温电阻、绝缘屏蔽层、两个测温电阻输出端、第一钯薄膜电阻、第二钯薄膜电阻、4个传输线和4个钯传感器输出端，解决了为钯薄膜传感器提供良好的工作温度范围的技术问题，本发明采用了钯薄膜传感器结合半导体制热、制冷技术来保证芯片工作在一个稳定的环境之中。使传感器的精度更高、测量的数据更准、同时还极大的延长了传感器的使用寿命，本发明在钯薄膜电阻上增加了绝缘屏蔽层，增加了传感器的抗干扰能力，本发明将测温电阻尽可能的包围两个钯薄膜传感器，使测温值更加准确。