周期栅阵的周期长度的测量方法

摘要

本发明公开了一种用于对周期阵列结构中的周期栅阵进行测量的测量方法，包括：获取所述周期阵列结构的图像并获取所述图像的像素间距值；在所述图像上绘制覆盖多个所述周期栅阵的测量线；确定所述测量线上至少一部分像素的坐标值和图像特征值、以及所述测量线的斜率；利用所述坐标值和所述图像特征值，利用拟合函数来计算得到所述测量线的空间圆频率；利用所述像素间距值和所述空间圆频率，来计算得到所述测量线的延伸方向上的测量线周期长度；以及基于所述测量线的斜率、以及所述测量线周期长度来计算所述周期栅阵的实际周期长度。