一种相位型衍射光栅

摘要

本发明涉及衍射光栅技术领域，尤其涉及一种相位型衍射光栅，包括：薄膜衬底；所述薄膜衬底上均匀开设的形状和尺寸相同的多个栅孔，其中，所述多个栅孔在所述薄膜衬底上呈规则阵列排布；所述多个栅孔呈规则阵列排布时的横向周期为P_x，纵向周期为P_y；所述栅孔的尺寸与所述横向周期P_x和纵向周期P_y呈预设比例；所述薄膜衬底的厚度根据入射光的波长的值确定，由此获得±1级的绝对衍射效率值相对提高，0级和高级的绝对衍射效率得到有效抑制。