光敏台面与N接触台面之间光隔离的低功耗波导光探测器

摘要

本发明请求保护一种光敏台面与N接触台面之间光隔离的低功耗波导光探测器结构，该结构将光波导与光电二极管集成在半绝缘衬底上。其中光电二极管具有优化的能带结构、参杂分布和外延层厚度，主要包括具有线性梯度掺杂分布的非耗尽P型光吸收层，具有线性梯度掺杂分布的N型电子收集层(非光吸收层)，以及在吸收层和收集层之间的具有三明治偶极掺杂分布的带隙渐变间隔层。通过在N台面上制作沟槽并沉积上金属薄膜电极将光敏台面与N接触台面进行光隔离，从而提高光波导对光的限制；在光波导的尾端制作一个与N台面隔离的台面并沉积上金属薄膜作为光反射镜，从而提高器件的有效吸收长度，是一种缓解光探测器带宽和量子效率相互制约的技术方案。