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波导隔离器用Ce：YIG磁光薄膜的制备

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波导隔离器用Ｃｅ：ＹＩＧ磁光薄膜可由溅射外延或溅射沉积后热处理结晶化两种方法制备。控计了制备过程中不同工艺条件对薄膜结晶性能及磁光特性的影响．

著录项

来源
《磁性材料及器件》 |1997年第4期|8-10|共3页
作者
黄强; 冯则坤;
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作者单位

华中理工大学固体电子学系;

华中理工大学固体电子学系;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类波导、波导管、波导传输线;
关键词
溅射; 铈; YIG; 磁光薄膜; 波导隔离器;

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