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公开/公告号CN111403616B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-07-13
原文格式PDF
申请/专利权人 浙江大学;
申请/专利号CN202010235696.1
发明设计人 方彦俊;秦丰尤;田鸿君;闫敏行;杨德仁;
申请日2020-03-30
分类号H01L51/50(20060101);H01L51/56(20060101);
代理机构33224 杭州天勤知识产权代理有限公司;
代理人胡红娟
地址 310013 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
入库时间 2022-08-23 12:07:07
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