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涂层形成方法、涂层形成设备、装置、装置制造方法及电子设备

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摘要

在母板(S)上设置大量单位区域(bit)(B)。将由某种液体成分制成的液滴从液滴喷头(34)喷射到单位区域(B)，以便在母板(S)上形成一个涂层。由喷射头(34)中的N个喷嘴组成的第一组喷嘴(Na)形成第一图案。与第一组喷嘴(Na)不同的第二组喷嘴(Nb)形成第二图案。这样做的话，当在基准板上形成具有不同特征的图案时，就可以使用这种液滴喷射设备保持稳定的喷射操作，形成精度较好的图案。

著录项

公开/公告号CN100452346C

专利类型发明授权
公开/公告日2009-01-14

原文格式PDF
申请/专利权人精工爱普生株式会社;
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申请/专利号CN03122632.9
发明设计人小山实;平井利充;
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申请日2003-04-16
分类号H01L21/768(20060101);H05K3/10(20060101);B05D5/12(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人王玮
地址日本东京
入库时间 2022-08-23 09:01:48

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2013-06-05

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/768 授权公告日:20090114 终止日期:20120416 申请日:20030416

专利权的终止
2009-01-14

授权

授权
2004-01-07

实质审查的生效

实质审查的生效
2003-10-29

公开

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