一种大高宽比微结构的光学检测方法

摘要

本发明公开了一种大高宽比微结构的光学检测方法，通过观察不同微结构对入射光的不同反射情况，无损检测微结构的侧壁形貌，快速地判断大高宽比微结构是否发生倾斜、扭曲。本发明可以对光刻胶和金属微结构的侧壁形貌进行无损检测，也可以对光刻胶与金属共存的微结构侧壁形貌进行无损检测。本发明中采集的是高衬度的图像，结合样品工作台的快速扫描，可以实现对大尺寸样品的快速检测。本发明可以对工艺过程中的样品进行检测，能够实现样品的原位工况检测。本发明中侧壁倾角检测精度与选择的物镜相关，物镜的放大倍数越高可以提供越高的侧壁倾角检测精度，通常的，可以实现0.1°的侧壁倾角检测精度。