线宽偏差曲线的生成方法、线宽偏差值的预估方法及装置

摘要

本发明公开了一种线宽偏差曲线的生成方法，包括以下步骤：获取各个光罩开口的第一尺寸信息，及基于各个光罩开口在电阻层上形成的各个目标图形的第二尺寸信息；根据所述第一尺寸信息与所述第二尺寸信息，计算所述各个光罩开口与对应的目标图形之间的线宽偏差值；根据所述线宽偏差值及所述第一尺寸信息生成线宽偏差曲线。本发明还公开了一线宽偏差值的预估方法、线宽偏差值预估装置及计算机可读存储介质。本发明通过多个离散的光罩开口的尺寸信息与线宽偏差值的一一对应关系，生成线宽偏差曲线，使得可以根据线宽偏差曲线预测线宽偏差值，从而解决了无法确定光罩上所述新尺寸开的线宽偏差值的技术问题。