基于集成光学的应力光学相位调制器和形成方法

摘要

本发明揭示一种用于控制表面波导中的光信号的相位的相位控制器及其制造方法。所述相位控制器通过在波导结构中诱发应力、由此控制其至少一些组成层的折射率来控制所述光信号的所述相位。所述相位控制器包含形成于所述波导的顶部包层的表面形态特征上的相位控制元件，其中这些特征(1)为所述相位控制元件提供与所述光信号的模场的形状相匹配的形状，且(2)产生将所诱发的应力聚焦并导引到所述波导结构的特定区中的应力集中点，由此提供高效相位控制。因此，与现有技术的集成光学相位控制器相比，所述相位控制器可在更低的电压、更低的功率下和/或在更短的相互作用长度内操作。