用于使用发射体材料配置的测量设备的光学配置

摘要

提供了一种在三个轴线中响应的扫描探针，以在坐标测量机中使用。扫描探针包括框架、触针悬挂部分和触针位置测量部分。触针位置检测部分包括光源，所述光源被操作为朝向相对于所述触针联接部分固定的位置指示元件辐照源光。所述位置指示元件包括具有发射体材料(例如，磷光体)的位置指示发射器，所述发射体材料输入和吸收来自所述光源的光并且响应为输出激发光。在各种实施例中，所述激发光被作为以下中的至少一种而被引导：沿着轴向测量光斑路径的轴向测量光，以在轴向位置敏感检测器上形成轴向测量光斑；和/或，沿着转动测量光斑路径的转动测量光，以在转动位置敏感检测器上形成转动测量光斑。