高可靠性高性能薄膜微波衰减片的制作方法

摘要

本发明公开了一种高可靠性高性能薄膜微波衰减片的制作方法，包括以下步骤：对陶瓷基板背面采用厚膜印刷工艺印刷高温银浆，在陶瓷基板的正面焊盘处采用厚膜印刷工艺印刷高温银浆，然后放入烧结炉进行烧结，在陶瓷基板正面涂布光刻胶、曝光、显影后分别溅射Ti/W金属层和Ni/Cr金属层，在去胶液中去除光刻胶，最后涂布光刻胶、曝光、显影后真空溅射电镀层，采用高温对TaN电阻层进行氧化，使其表面形成氧化层，对电阻进行微调，氧化层对电阻起到保护的作用。本发明减少了工艺步骤，极大提高了衰减电路的精度，保证产品的质量。