等离子体源线圈和使用该等离子体源线圈的等离子体室

摘要

一种等离子体源线圈，包括：布置在中央部分的衬套；以及多个基于该衬套从该衬套的圆周以同心圆的形式布置的单元线圈。每个单元线圈的一端以及该衬套的一端公共地连接到功率供给端子，并且每个单元线圈的另一端和该衬套的另一端公共地连接到地端子。