基于闪耀光栅拼接技术的检测结构及其拼接误差调整方法

摘要

基于闪耀光栅拼接技术的检测结构及其拼接误差调整方法，两个不同波长的激光经过准直扩束后由半反半透镜分成两束，分别形成衍射m级检测条纹及0级检测条纹，前者由经反射后到达CCD A与入射光束透过分光棱镜到达拼接光栅与自准直反射后到达CCD A的两束光束在CCD A上形成干涉条纹；0级检测条纹是由半反半透镜分出的另一束经反射到CCD B上的光束与入射光束反射到CCD B上的光束干涉形成的条纹；CCD A与CCD B的输出经计算机数据处理分别接入两个驱动装置；使调整光栅B严格和基准光栅A拼接。本发明最大化实现闪耀拼接光栅的调整和检测，具有低成本、结构简单、高精度，可完成大尺寸光栅拼接的高精度的基本要求。