使用设计补偿扫描电子显微镜束的失真引起的计量误差

摘要

本发明揭示用于量化且校正用于计量操作的图像中的不均匀性的方法及系统。可使用晶片的计量区域图像及设计剪辑。所述计量区域图像可为扫描电子显微镜图像。所述设计剪辑可为所述晶片的所述设计剪辑或合成设计剪辑。可量化且校正包含电子束失真的工具失真。可将所述设计剪辑应用到所述计量区域图像以获得合成图像，使得一或多个工艺改变变化被抑制且一或多个工具失真被增强。