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公开/公告号CN106960776B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-06-11
原文格式PDF
申请/专利权人 朗姆研究公司;
申请/专利号CN201710006522.6
发明设计人 龙茂林;亚历克斯·帕特森;
申请日2017-01-05
分类号H01J37/32(20060101);
代理机构31263 上海胜康律师事务所;
代理人樊英如;包孟如
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 11:57:18
机译: 具有快速阻抗切换功能的变压器耦合电容调谐电路,用于等离子体蚀刻室
机译: 变压器耦合电容性转向电路,用于执行等离子蚀刻斜面的快速阻抗切换
机译: 等离子体刻蚀机的变压器耦合电容调整电路与快速阻抗切换
机译:具有超高变压比和带通选择性的短端耦合线阻抗变压器,适用于大负载阻抗
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机译:使用多导体耦合线的可调谐阻抗变压器
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机译:变压器耦合环形天线输入电路的等效选择性