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压力传感器元件和具备该压力传感器元件的压力传感器模块

摘要

压力传感器模块的压力传感器元件具有:膜片,其具备导电性,当受到压力时变形;多个固定电极,所述多个固定电极分别具备与膜片相向的电极面;以及电介质膜,其设置在多个固定电极各自的电极面上。多个固定电极沿从膜片的中央朝向外侧的方向配置。

著录项

  • 公开/公告号CN110114650B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-06-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 株式会社村田制作所;

    申请/专利号CN201780079135.3

  • 发明设计人 滨崎良平;

    申请日2017-09-13

  • 分类号G01L9/00(20060101);H01L29/84(20060101);

  • 代理机构11277 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人刘新宇

  • 地址 日本京都府

  • 入库时间 2022-08-23 11:56:48

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