一种用于光学元件面形检测的立式干涉仪标准镜装夹装置和方法

摘要

本发明涉及一种用于光学元件面形检测的立式干涉仪标准镜装夹装置和方法，立式干涉仪标准镜装夹装置包括调平机构、辅助支撑件和用于放置标准镜的托盘，所述调平机构的数量至少为三个，并沿托盘的周向方向均匀分布，各所述调平机构包括驱动系统和用于支撑托盘的支承块，所述驱动系统能够驱动支承块沿高度方向移动，支承块能到达的高度最低值记为H_min，最高值记为H_max，所述辅助支撑件包括支架和安装在支架上的缓冲垫，该缓冲垫用于支撑托盘，其高度记为h，H_min、H_max和h的关系满足：H_min＜h＜H_max。与现有技术相比，本发明的优点在于：能够精密调整标准镜的水平度。