一种皮拉尼真空计系统

摘要

本发明涉及真空压力测量技术领域，具体公开了一种皮拉尼真空计系统，其中，包括：皮拉尼真空阵列、开关控制阵列、信号处理模块和电源，皮拉尼真空阵列与开关控制阵列连接，信号处理模块与开关控制阵列连接，电源分别与皮拉尼真空阵列、开关控制阵列和信号处理模块连接；皮拉尼真空阵列包括多个皮拉尼真空单元；开关控制阵列用于根据电源的类型控制皮拉尼真空单元之间的连接方式；信号处理模块用于将皮拉尼真空阵列输出的与真空度对应的电压值进行转换得到相应的真空度；电源用于向皮拉尼真空阵列、开关控制阵列和信号处理模块提供工作所需的电压或电流。本发明提供的皮拉尼真空计系统能够实现宽量程高灵敏度的真空度测量。