公开/公告号CN110869297B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-06-04
原文格式PDF
申请/专利权人 大日本印刷株式会社;
申请/专利号CN201880046026.6
发明设计人 桑野诚司;
申请日2018-06-29
分类号B65G47/84(20060101);
代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;
代理人谢辰
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 11:54:02
机译: 基板搬送方法,包括该基板搬送方法的基板搬送装置以及具有包括该基板搬送装置和基板处理装置的基板搬送装置的基板处理装置
机译: 基板搬送装置及使用该基板搬送装置的基板处理装置及其所使用的基板搬送方法。
机译: 自动搬送装置和使用该搬送装置的钢材料搬送方法