公开/公告号CN112735994B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-06-04
原文格式PDF
申请/专利权人 亚电科技南京有限公司;江苏亚电科技有限公司;
申请/专利号CN202110365883.6
申请日2021-04-06
分类号H01L21/67(20060101);B08B3/02(20060101);B08B13/00(20060101);F26B3/28(20060101);
代理机构11317 北京商专润文专利代理事务所(普通合伙);
代理人陈平
地址 210000 江苏省南京市江宁区双龙大道1347号同曦大厦605-7室(江宁开发区)
入库时间 2022-08-23 11:53:41
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-08-12
专利权的转移 IPC(主分类):H01L21/67 专利号:ZL2021103658836 登记生效日:20220801 变更事项:专利权人 变更前权利人:亚电科技南京有限公司 变更后权利人:江苏亚电科技有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:210000 江苏省南京市江宁区双龙大道1347号同曦大厦605-7室(江宁开发区) 变更后权利人:225500 江苏省泰州市姜堰区三水街道科技大道151号 变更事项:专利权人 变更前权利人:江苏亚电科技有限公司 变更后权利人:
专利申请权、专利权的转移
机译: 晶圆干式清洗机和采用相同方法有效清洗晶圆的晶圆清洗方法
机译: 半导体晶圆清洁装置。与产品相关。盒式磁带-搬运直立放置在便携式架子中的晶圆,以便在异丙醇清洗和干燥站之间进行机械运输
机译: 晶圆干燥设备,用于在晶圆清洗过程后完全干燥晶圆