应用于近场扫描微波显微镜的扫描区域平面纠斜的方法

摘要

一种近场扫描微波显微镜的扫描区域平面纠斜的方法，属于薄膜材料测试技术领域。本发明通过三点测试法，仅需测试三点处针尖与薄膜接触时，位移台在z轴上的移动距离，即可确定待测样品斜面的平面方程并得到面内各点z轴的坐标值，进而控制每一扫描点处针尖‑样品表面的距离保持一致，有效解决了测量时的样品平面倾斜影响测量结果准确性的问题，消除了样品倾斜放置所导致的测量结果误差。