针尖-样品距离对近场扫描微波显微镜空间分辨率的影响

摘要

根据近场微波测试原理搭建了一套近场扫描微波显微镜系统,在不同针尖-样品距离情况下,测试了宽度分别为260μm和470μm的NiFe薄膜在宽度方向的轮廓,研究结果表明,随着针尖-样品距离的增加,测试的空间分辨率降低.通过对扫描得到的轮廓曲线进行分析,发现测试得到的薄膜线宽随针尖-样品距离的增大而线性增加.结合近场微波领域的基本理论,提出了一种获得薄膜真实线宽的测试方法,为近场扫描微波显微镜的进一步研究奠定了基础.