利用微波近场显微镜研究薄膜微波表面电阻的空间分布

摘要

－－该文介绍了作者们设计和制造的一套同轴谐振腔型微波近场扫描显微镜，利用该显微镜可以研究材料微波特性的空间分布，文章分析了微波近场扫描显微镜的空间分辨率并研究了影响空间分辨率的因素。利用这套微波近场扫描显微镜，以金属薄膜的微波表面电阻的空间分布进行了测量。