一种多层陶瓷共烧压电驱动器、压电马达及其制备方法

摘要

本发明公开了一种多层陶瓷共烧压电驱动器、压电马达及其制备方法。本发明基于超材料基元序构思想设计了由(2×2)矩阵序构致动基元构成的矩形压电驱动器，每个致动基元均为头对头厚度极化、电学上并联的厚度型多层压电陶瓷。对一个对角线上的两个致动基元施加驱动电场，或者对两个对角线上的致动基元施加反平行驱动电场，不对称应变效应使压电驱动器产生一个平面内d₃₄准切变模态非谐振倾斜驻波振动，通过摩擦耦合将该振动转化为滑动组件的水平线性运动，获得纳米步进压电马达。该压电驱动器采用多层陶瓷共烧工艺制备，体积小，结构简单，可以在较宽的非谐振频率下工作，受环境温度变化影响小，在精密驱动与定位领域有很广阔的应用前景。