公开/公告号CN110690129B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-05-28
原文格式PDF
申请/专利权人 浙江集迈科微电子有限公司;
申请/专利号CN201910904853.0
申请日2019-09-24
分类号H01L21/60(20060101);H01L23/488(20060101);
代理机构33283 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙);
代理人董世博
地址 313100 浙江省湖州市长兴县经济技术开发区陈王路与太湖路交叉口长兴国家大学科技园二分部北园8号厂房
入库时间 2022-08-23 11:51:30
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