法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-10-24
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G11B 7/09 授权公告日:20081210 终止日期:20110817 申请日:20050817
专利权的终止
2008-12-10
授权
授权
2006-05-24
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-03-29
公开
公开
机译: 斜入射,棱镜入射,硅基,浸入式微通道的测量装置和测量方法
机译: 倾斜入射结构,棱镜入射型,硅基浸入式细通道测量装置及测量方法
机译: 斜入射,棱镜入射,基于硅的,基于浸入微通道的测量装置和测量方法