一种单晶圆棒少子寿命测试方法

摘要

本发明提供一种单晶圆棒少子寿命测试方法，所述测试方法步骤为：S1、在所述圆棒体柱面上选出被测位置；S2、在所述被测位置上进行加工平面；S3、在所述平面上进行机械打磨；S4、清洗所述平面；S5、采用少子寿命测试仪器对所述平面进行测试。本发明提出一种快速检测单晶圆棒少子寿命方法，采用本发明的测试方法所测试的结果接近于现有技术测试方法所测的少子寿命，所有测试数据稳定且再现性较好，数据差值波动很小，可准确反应单晶圆棒的少子寿命的结果，提高了少子寿命的测试时间，为后续生产缩短了加工周期，节约了生产资源，提高了工作效率。