一种TVS芯片玻璃钝化丝网印刷网版及其工艺方法

摘要

本发明提供一种TVS芯片玻璃钝化丝网印刷网版，包括若干沟道，所述沟道两两相互交叉形成若干正六边形的有效区域,任意相邻的所述正六边形为单顶点连接，且任意相邻的三个所述正六边形的连接顶点构成正三角形的无效区域。本发明还提供一种TVS芯片玻璃钝化用上述印刷网版印刷的工艺方法，在印刷过程中，刮刀的印刷方向的切入口为任意所述正六边形的任一内角，所述刮刀的印刷方向与所述内角的中心线平行，所述刮刀的印刷轨迹为连续性直线，在一面刻有沟槽的硅片上涂覆一层玻璃浆料，并对涂覆后的玻璃浆料进行烘干、烧结。本发明可有效解决沟槽内印刷涂层不完全的问题，使沟槽内玻璃钝化层覆盖更全面，保护更完全。