基于双谐振腔的陀螺仪与加速度计集成系统及其制备方法

摘要

本发明涉及惯性测量器件，具体是一种基于双谐振腔的陀螺仪与加速度计集成系统及其制备方法。本发明解决了传统的微光学陀螺仪与微光学加速度计难以实现芯片化集成制造封装、容易受到环境中噪声影响的问题。基于双谐振腔的陀螺仪与加速度计集成系统，包括微光学传感结构、锁频与解算系统；所述微光学传感结构包括矩形硅衬底、二氧化硅包层、第一光纤耦合器、第二光纤耦合器、第三光纤耦合器、第四光纤耦合器、第五光纤耦合器、直波导、Y波导、第一环形谐振腔、第二环形谐振腔、硼磷硅玻璃包层；所述锁频与解算系统包括窄线宽激光器、第一隔离器、第二隔离器、第三隔离器、第一分束器、第二分束器、声光调制器。本发明适用于惯性导航系统。