基于WGM谐振腔系统的陀螺仪光学检测方法研究

摘要

提出微光机电系统陀螺仪的光学检测方法,设计了由光栅耦合器、回音壁模式谐振腔和光波导组成的微光学检测器件,实现与盘式谐振陀螺仪的单片集成.理论分析了谐振腔的谱线漂移和耦合机制,通过调整结构参数得到品质因数为5303.1.分析了光栅周期、刻蚀深度、入射角和上包层对光栅耦合器耦合效率的影响,通过不断优化调整最终实现了51.5％的水平耦合.最后对实验测试结果进行讨论.