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一种用于电解沉积铜的组合物及酸铜电镀液

摘要

本发明公开了一种用于电解沉积铜的组合物及酸铜电镀液,其包括将多胺化合物、硫脲类化学物混合,并在设定温度条件下发生脱氨聚合反应,再加入烷基化或质子化改性剂进行化学改性得到改性组合物,其中所述多胺化合物与所述硫脲类化学物混合摩尔比为1:10~10:1,所述烷基化或质子化改性剂的摩尔用量为所述多胺化合物的0.01‑10倍。本发明为一种具有良好流平性能的酸性电镀铜添加剂,酸铜电镀液能够沉积平坦的铜层并且能够填充微盲孔而不形成缺陷。

著录项

  • 公开/公告号CN110938848B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-05-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 江苏艾森半导体材料股份有限公司;

    申请/专利号CN201911364343.5

  • 申请日2019-12-26

  • 分类号C25D3/38(20060101);

  • 代理机构11350 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人汤东凤

  • 地址 215300 江苏省苏州市昆山市千灯镇黄浦江路1647号

  • 入库时间 2022-08-23 11:46:17

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