公开/公告号CN110453103B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-05-04
原文格式PDF
申请/专利权人 清华大学深圳研究生院;
申请/专利号CN201910670196.8
申请日2019-07-24
分类号C22C1/10(20060101);C22C21/00(20060101);C22C29/06(20060101);C22C32/00(20060101);H01L23/29(20060101);
代理机构44205 广州嘉权专利商标事务所有限公司;
代理人谢岳鹏
地址 518000 广东省深圳市南山区西丽大学城清华校区
入库时间 2022-08-23 11:43:57
机译: 硅铝键合碳化硅材料
机译: 硅铝键合碳化硅材料
机译: 硅铝键合碳化硅材料