一种高速精密激光打孔平台及其控制方法

摘要

本发明涉及一种高速精密激光打孔平台及其控制方法，所述高速精密激光打孔平台包括：宏XY运动平台、微XY运动平台、工作吸盘；所述微XY运动平台安装在宏XY运动平台上；所述微XY运动平台包括：支撑座、连接架、微承载平台、X轴柔性铰链片、Y轴柔性铰链片；所述X轴柔性铰链片两端分别被固定在所述连接架与所述支撑座上；所述Y轴柔性铰链片两端分别被固定在所述连接架与所述微承载平台上；所述微承载平台上还设置有微X轴编码器与微Y轴编码器，分别用于测量所述微承载平台的X/Y方向的运动信息；所述工作吸盘安装在所述微XY运动平台的所述微承载平台上。本发明利用柔性铰链的弹性变形实现高速插补，实现孔间高速精密定位。