一种适合铣削加工用的氧化铝/钛铝氮复合涂层及其制备方法

摘要

本发明公布的适合铣削加工用的氧化铝/钛铝氮复合涂层是由CrAlTiZrY高熵合金粘结层、α‑Cr₂O₃氧化物模板层、α‑Al₂O₃氧化物支撑层、TiAlN氮化物耐磨层四个子层构成的整体，这四个子层的顺序是由内至外，涂层总厚度为1.2～3μm。其制备方法为：基底被加热和离子刻蚀后，先利用电弧蒸发镀工艺在基底上沉积CrAlTiZrY层；然后，使用阴极电弧离子镀工艺，再继续依次沉积α‑Cr₂O₃层、α‑Al₂O₃层和TiAlN层。强韧性高的高熵合金粘结层与氧化物涂层、氮化物涂层的有机搭配，使得复合涂层具有高的韧性和良好的抗冲击性能，非常适合于断续加工方式的铣削加工，且制备工艺简单，易于实施。