反射折射光学系统、照明光学系统、曝光装置

摘要

本发明涉及反射折射光学系统、照明光学系统、曝光装置。在物面以及像面作为远心光路的反射折射光学系统包括：第1反射面、第2反射面、第3反射面以及第4反射面；以及具有正的屈光力的折射面，该折射面配置于所述物面与所述第1反射面之间，从所述物面出来的光依次经由所述折射面、所述第1反射面、所述折射面、所述第2反射面、所述折射面、所述第3反射面、所述第4反射面到达所述像面。