公开/公告号CN109104866B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-04-27
原文格式PDF
申请/专利权人 信越化学工业株式会社;
申请/专利号CN201780024422.4
申请日2017-02-23
分类号C09K3/14(20060101);B24B37/00(20120101);C03C19/00(20060101);C09G1/02(20060101);H01L21/304(20060101);
代理机构11002 北京路浩知识产权代理有限公司;
代理人张晶;谢顺星
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 11:42:11
机译: 合成石英玻璃基质的研磨剂和合成石英玻璃基质的抛光方法
机译: 合成石英玻璃基质的研磨剂及合成石英玻璃基质的抛光方法
机译: 合成石英玻璃,合成石英玻璃和合成石英玻璃基板的制造方法