我国首条石英玻璃基板成套生产线建成

摘要

日前，基于光刻用石英玻璃基板绿色制造技术，中国建筑材料科学研究总院石英院在衢州建立了国内首条从基板原材料制造到产品加工的成套生产线，该生产线可年产2万片4～6英寸石英玻璃基板，打破了石英玻璃基板原材料及产品长期依赖进口的局面。