合成石英玻璃基板用的抛光剂及其制备方法、以及合成石英玻璃基板的抛光方法

摘要

本发明提供一种合成石英玻璃基板用的抛光剂，其为包含抛光颗粒及水的合成石英玻璃基板用的抛光剂，其特征在于，所述抛光颗粒为铈与钇的复合氧化物颗粒，所述抛光颗粒中所含有的所述铈的含有率为71mol％以上79mol％以下。由此，可提供一种能够充分减少因抛光导致的合成石英玻璃基板表面的缺陷的产生且不会降低抛光速度的合成石英玻璃基板用的抛光剂。