MEMS声音传感器、MEMS麦克风及电子设备

摘要

一种MEMS声音传感器，用于通过空气声压变化和机械振动中的至少一种来检测声音，MEMS声音传感器包括：基板，基板上形成有背洞；背板，设置于基板上方，且部分区域被所述背洞所裸露；振膜，与背板相对设置且与背板之间存在间隙；振膜与背板构成电容结构；以及连接柱，包括相对设置的第一端和第二端；连接柱的第一端与振膜的中间区域电性连接；连接柱的第二端与背板固定连接；以将振膜固定支撑在背板上；其中，振膜的边缘区域设置有至少一个质量块；质量块与背板之间存在间隙。