一种声子晶体声表面波滤波器及制作方法

摘要

本发明提供了一种声子晶体声表面波滤波器及制作方法。通过使用多个接收换能器，来实现多频信号的输出；利用发散状叉指发送换能器，来减小器件的插入损耗及实现激励的声表面波带宽的展宽；利用刻蚀的方法，在压电衬底中形成声子晶体点阵，声子晶体点阵不易受外部应力损坏，延长了器件的使用寿命；利用在声子晶体点阵与接收换能器之间插入栅阵列，来进一步增强了器件的滤波特性；通过在器件表面生长一层二氧化硅温度补偿层，来抑制器件的温漂特性。