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公开/公告号CN109860058B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-04-20
原文格式PDF
申请/专利权人 大连理工大学;
申请/专利号CN201811555045.X
发明设计人 梁红伟;夏晓川;张贺秋;
申请日2018-12-19
分类号H01L21/34(20060101);H01L21/4763(20060101);H01L29/267(20060101);
代理机构21200 大连理工大学专利中心;
代理人温福雪;侯明远
地址 116024 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号
入库时间 2022-08-23 11:40:02
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