用于化学机械研磨工艺模型建模的测试图形

摘要

本发明公开了一种用于化学机械研磨工艺模型建模的测试图形，除了包括现有以线/线间隔为组元的单一测试图形结构，还提供一种包括两种组元的双重测试结构。变化双重测试结构中两种组元的密度、线宽、线间距以及周长等几何特征，可以得到差异的目标图形几何特征与周围图形几何特征，从而可以更好的引入目标区域周围图形的几何特征影响，进而提高了化学机械研磨工艺模型的准确性。