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The chemical machine grinding service water type dispersing element and chemical machine grinding method, and the kit in order to manufacture the chemical machine grinding service water type dispersing element

机译:化学机械研磨用水型分散元件和化学机械研磨方法,以及用于制造化学机械研磨用水型分散元件的套件

摘要

The chemical machine grinding service water type dispersing element, (A) the abrasive grain, (B) organic acid, (C) the water solubility macromolecule, (D) includes the oxidizer, and (E) the water, the description above (C) the water soluble high-molecular weight average molecular weight is 50,000 - 5,000,000.
机译:化学机械研磨用水型分散元素,(A)磨料颗粒,(B)有机酸,(C)水溶性高分子,(D)包含氧化剂,和(E)水,以上描述(C )水溶性高分子平均分子量为50,000-5,000,000。

著录项

  • 公开/公告号JPWO2007116770A1

    专利类型

  • 公开/公告日2009-08-20

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 JSR株式会社;

    申请/专利号JP20080509791

  • 发明设计人 仕田 裕貴;池田 正俊;竹村 彰浩;

    申请日2007-03-27

  • 分类号H01L21/304;B24B37/00;C09K3/14;

  • 国家 JP

  • 入库时间 2022-08-21 19:38:43

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