制造固态成像器件的方法和固态成像器件及照相机

摘要

本发明提供了用于制造能改进在光接收单元中的感光度特性的固态成像器件的方法、感光度特性改进了的固态成像器件和设置有该固态成像器件的照相机。在形成有光接收单元的衬底上形成围绕所述光接收单元突出的屏蔽膜；透明绝缘膜形成在所述屏蔽膜上；通过所述绝缘膜的回蚀，在所述屏蔽膜的侧壁中形成侧壁绝缘膜；在所述屏蔽膜上形成在相应于所述光接收单元位置具有孔的掩模层；且通过采用侧壁绝缘膜和掩模层作为掩模来蚀刻所述屏蔽膜以形成暴露所述光接收单元的孔部分。