公开/公告号CN110284123B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-04-09
原文格式PDF
申请/专利权人 江苏永鼎光纤科技有限公司;江苏永鼎股份有限公司;
申请/专利号CN201910576544.5
申请日2019-06-28
分类号C23C16/511(20060101);
代理机构32299 苏州知途知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人马刚强
地址 215200 江苏省苏州市吴江区黎里镇越秀路888号
入库时间 2022-08-23 11:38:27
机译: 微波等离子体化学气相沉积设备,用于形成具有稳定等离子体放电装置的功能性沉积膜
机译: 一种用于屏蔽和/或冷却安装在电路板上的电子设备的设备(用于屏蔽和/或冷却电路板上安装的电子组件的模拟装置)
机译: 通过该方法生产一种用于电气和/或电子部件,设备或装置的屏蔽以及屏蔽装置的生产方法。