基于微透镜阵列的激光光束发散角测试方法

摘要

基于微透镜阵列的激光光束发散角测试方法，本发明属于光学领域，具体涉及激光光束发散角的测试方法。它克服了现有束散角测试方法测量误差较大和测试实时性较差的缺陷。它包括下述步骤：被测光束入射望远镜系统，使输出的光斑直径与微透镜阵列的外形尺寸相匹配，微透镜阵列包含m×n个排列成矩阵状的子透镜；利用微透镜阵列将被测光束分解为子光束，通过CCD探测每一子光束的发射角度，并通过统计方法计算得到被测光束发散角，测量精度可达0.1μrad。由于本方法不需要测量光斑的直径，避开了光斑直径不易测量准确的难题。本发明方法只在光路中的一个位置测量即可，因此本发明方法可方便地实现光束发散角的实时测量。